半导体计量扫描设备
各维度得分依据公开资料与字段推算,加权后即综合评分,仅供参考。
Infinitesima 是一家英国私营半导体量测公司，成立于 2001 年，源自 University of Bristol。其核心并非传统意义的软件开发者工具，而是面向先进芯片制造的纳米级 3D 量测平台。官网强调“如果不能测量，就无法控制”，主打 Rapid Probe Microscope（RPM）与 Metron 3D，用于在逻辑、DRAM、3D NAND、EUV/High-NA EUV 等先进制程中获取真实 3D 纳米信息。
RPM 通过探针接近样品表面时的原子力相互作用进行测量，并结合光热驱动、干涉测量、压电扫描器和 FPGA 控制系统。官网称其可实现皮米级/深亚纳米级精度，速度比传统 AFM 高 10 倍到 100 倍。Metron 3D 是面向高容量制造的在线晶圆量测系统，支持最高 170 WPH、最大 100 微米见方扫描区域、3 轴干涉测量、自动探针库、自动换针、探针健康监控和寿命预测。
网站未披露价格，属于典型半导体设备企业定制销售模式。销售与服务方面，Zeiss MeRiT 掩模修复系统中的 RPM 需联系 Zeiss；韩国独立系统联系 WooWon Technology；其他地区联系 Infinitesima。新闻显示 Metron 3D 已完成首个客户出货，并有用于先进 DRAM 制造在线控制的发布信息。
优点是技术定位清晰，补足光学和 e-beam 在高深宽比、薄 EUV 光刻胶、刻蚀深度、CMP 平坦度等场景的不足；且支持设备集成和独立平台两种路径。缺点是公开资料更偏市场和技术概述，手册与应用说明需留资下载；API/SDK、软件接口、维护成本、交付周期和价格均未披露。
它适合先进晶圆厂、掩模修复团队、制程集成、良率工程和半导体研发实验室，不适合一般软件开发团队。中国大陆访问情况抓取文本未说明，判定为未知；采购和服务还可能受半导体设备贸易、区域代理与合规因素影响。
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面向半导体制造的高端设备商。
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